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纳米级三维探针台

  • 申请号： 申请公布号：
  • 申请日： 申请公布日： 2017-01-17
  • 申请（专利权）人：BI692748742 专利代理机构：
  • 分类号：

专利介绍

纳米级三维探针台由压电马达驱动，包含传感器、驱动器和控制器等部件，是精密仪器运动控制系统的核心部分，其压电马达具有高分辨率、小尺寸、低能耗、稳定性高、无返程空回等特点。其运动控制部分采用驱控一体的压电专用控制器,使系统不仅更简洁、更灵活，还具有更好的实时性。 纳米级三维探针台在 0.3～15000μm范围内连续可调，步长分辨率优于0.2um，驱动方式：脉冲加方向，速度在1～100mm/s范围内可调，最大加速度3g，最大行程：30mm，响应时间小于1ms。

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